潔凈廠房排氣系統安全技術措施
發布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發布時間：2024-02-19
在電子工業潔凈廠房中各種類型的排氣系統都會涉及安全技術措施。其中集成電路、液晶顯示器面板制造的潔凈廠房不僅排氣系統和類生，且排氣量大，有的工藝設備排氣口的廢氣排出濃度還較高等，為了確保電子工業廢氣處理系統的安全可靠運行，在國家標準《電子工業廢氣處理工程設計標準》（GB 51401—2019） 中作出有關廢氣處理系統的安全技術措施規定，匯總一部分供涉及相關工程的設計、建造者實施執行：
排風中含有燃燒爆炸性、毒性物質時，排風系統設計應滿足下列要求：
a.燃燒爆炸性、毒性物質未經處理的排風管路，應保持相對于路由區域的負壓值
b.中央廢氣處理系統應按一級負荷供電，一級負荷供電的電量應保證系統排風量不小于正常運行時系統排風量的 50%；
c.排風中含有燃燒爆炸性物質時，排風機應設置備用；
d排風中含有極毒或劇毒物質時，排風機和處理設備均應設置備用。
依據生產工藝要求，產品生產過程必須使用極毒、劇毒物質時，應采用自動化設備并應采取密閉、隔離和負壓作業等措施；生產工藝設備中產生有毒有害物質的腔體應采取排風措施，并應滿足生產工藝要求的負壓值。揮發性有機物皮氣排風系統應配置備用風機，且排風機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的風機風量應大于系統排風量的 50%。經處理后的工藝設備排出的揮發性有機物皮氣不應循環使用。當采用轉輪濃縮處理揮發性有機物廢氣時，派縮后的揮發性有機物廢氣濃度不應大于燃燒下限的 50%
在美國消防標準 NFPA 318 中對半導體產品制造潔凈廠房排氣管路的消防安全措施作了相關規定，如設在潔凈廠房內的用于排放含有可燃、易燃物質的排風管道的直徑或等效直徑大于或等于250mm 時，排風管內應設噴頭，其自動噴水滅火系統的設計噴水強度不得小于 1.9L/(min • ㎡),風管內自動噴水滅火系統的設計流量應滿足最遠端5個噴頭的出水量，單個噴頭的出水量不應小于76L/min；水平風管內噴頭的距離不得大于 6.1m，垂直風管內噴頭的間距不應大于 3.7m；設有噴頭的風管設置的噴頭應便于定期維護檢修。對于可燃、易燃、有毒的工藝排氣系統不得設置防火閥等。對于有毒有害物質的排氣系統，經廢氣處理后的污染因子濃度應在 PC-TWA值以下排除或輸送有燃燒或爆炸危險物質的排氣系統的風管，不應穿過防火墻和防火隔墻。其余酸性、堿性、揮發性有機物和特種廢氣系統的風管不宜穿越防火墻或防火隔墻，當必須穿越時，排風系統的防火閥設置應遵守下列規定：不應設置熔片式防火網；含有極毒和劇毒物質的排風系統不應設置防火閥，但緊鄰建筑構件其中一側的排風管應采用與建筑構件耐火極限相同的構造進行保護
② 堿性廢氣系統處理設備宜設置備用，排風機應設置備用。電子工業潔凈廠房的堿性廢氣系統處理設備和排風機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的堿性系統處理設備和排風機風量應大于系統排風量的 50%。
設計排風管路系統時，應避免風管內的揮發性有機物蒸氣積聚。設置自動噴淋系統的排風管，應避免噴淋排水回流到工藝設備，風管支撐系統應能承載噴淋時風管系統的重量。揮發性有機物廢氣排風管的設計不宜選用易出現氣體泄漏的管道密封形式或管件。
③揮發性有機物廢氣處理系統應配置備用風機，且排風機應按一級負荷供電，使用一級負荷供電的風機風量應大于系統排風量的 50%。
VOC 廢氣處理系統應配置風量或風壓低于設定值的報警裝置；爐膛超溫時高溫煙氣從爐膛直排煙道的應急排放管；處理系統的監測、日常操作及保養所需的輔助設施及控制系統失效情況下的緊急安全處理措施等安全保護裝置內及靠近外門的外墻上設置電氣裝置。
④事故排風系統風機的供電負荷等級不應低于相關工藝設備的供電負荷等級，并應分別在室設置有事故排風的場所不具備自然進風條件時，應設置補風系統，補風量宜為排風量的 80％，補風機應與事故排風機聯鎖。
含有劇毒和較毒物質的事故排風系統其排氣筒高度不應低于 15m，含有極毒物質的事故排風系統其排氣筒高度不應低于 25m。排氣筒出口處的有毒有害物質濃度應低于立即危害生命和健康濃度的 50%。需要設置事故通風的場所，宜設置有毒、有害或燃燒爆炸性氣體檢測及報警裝置，報警后聯動開啟事故通風裝置
